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由于影響涂膜的主要因素有涂布速度以及施加在自動(dòng)涂膜機(jī)上的壓力等,因而由人工涂出的涂層經(jīng)常出現(xiàn)不當(dāng),尤其是不同人之間產(chǎn)生的差異就更大了,這就給比較樣板之間的測(cè)試結(jié)果帶來(lái)了困難。涂膜器是為了使操作者方便地在不同底材上涂布出精確的濕膜而精心設(shè)計(jì)的,大大提高了涂膜的重現(xiàn)性。自動(dòng)涂膜機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):1、本設(shè)備采用無(wú)級(jí)變速電動(dòng)機(jī),精確控制涂布速率。2、采用橫桿推動(dòng)濕膜制備器,對(duì)濕膜制備器的外形尺寸無(wú)特殊要求。3、采用內(nèi)置真空泵,方便本設(shè)備的攜帶及搬運(yùn)。4、放置在涂布器底座的左側(cè)邊緣的不銹鋼...
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勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。該設(shè)備主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。勻膠機(jī)的工作過(guò)程:送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺(tái)上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過(guò)編程控制。勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可...
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小型涂膜機(jī)的使用前準(zhǔn)備:機(jī)器開(kāi)箱,有三部分組成:整機(jī)、刮刀組件、電源線選配件:烘干系統(tǒng)、真空系統(tǒng)1、將機(jī)器木箱及紙箱小心拆開(kāi),嚴(yán)禁倒置敲砸,將機(jī)器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無(wú)損傷變形,松動(dòng)。3、將刮刀部分編號(hào):2與整機(jī)分開(kāi)放置,檢查刮刀,同時(shí)旋轉(zhuǎn)數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動(dòng),確認(rèn)后,打開(kāi)數(shù)顯開(kāi)關(guān),調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。小型涂膜機(jī)的開(kāi)機(jī)調(diào)試:1、在確認(rèn)前兩步后,插上220V電源。2、按下機(jī)器面板上電源按鍵,綠燈會(huì)亮起,會(huì)聽(tīng)到一聲電機(jī)通電...
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自動(dòng)顯影勻膠機(jī)采用進(jìn)口旋轉(zhuǎn)馬達(dá),通過(guò)精準(zhǔn)定位系統(tǒng),輔以皮帶傳送,實(shí)現(xiàn)光刻膠的自動(dòng)涂覆,前烘。旋轉(zhuǎn)速度達(dá)6000rpm,*加工片數(shù)多達(dá)10000片以上。自動(dòng)勻膠具有加工速度快,涂覆均勻性好,節(jié)省光刻膠等特點(diǎn)。設(shè)備具有操作簡(jiǎn)單,維護(hù)量小等特點(diǎn)。自動(dòng)顯影勻膠機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):1、設(shè)備采用高效機(jī)械手,重復(fù)定位精度高、產(chǎn)能高,自動(dòng)完成勻膠、顯影工藝;2、配備烘烤及冷卻單元,工藝參數(shù)數(shù)字化檢測(cè)控制,自由編制、修改、儲(chǔ)存、調(diào)用工藝程序;3、故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長(zhǎng)期保存?zhèn)洳椋?、操作簡(jiǎn)便...
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勻膠機(jī)的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。選擇勻膠機(jī)需要考慮以下三個(gè)方面:1、旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機(jī)圖冊(cè)差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的大部分低端勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造真空泵一定要無(wú)油的,...
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實(shí)驗(yàn)室涂膜機(jī)的操作方法:一、使用前準(zhǔn)備1、將機(jī)器木箱及紙箱小心拆開(kāi),嚴(yán)禁倒置敲砸,將機(jī)器平穩(wěn)放在承重平面上。2、檢查所有外觀部分,保證無(wú)損傷變形,松動(dòng).3、將刮刀部分編號(hào):2與整機(jī)分開(kāi)放置,檢查刮刀,同時(shí)旋轉(zhuǎn)數(shù)顯表左右調(diào)節(jié)鈕,觀察刀體是否能上下自如活動(dòng),確認(rèn)后,打開(kāi)數(shù)顯開(kāi)關(guān),調(diào)到MM單位,調(diào)試清零鍵等。二、開(kāi)機(jī)調(diào)試1、在確認(rèn)前兩步后,插上220V電源2、按下機(jī)器面板上電源按鍵,綠燈會(huì)亮起,會(huì)聽(tīng)到一聲電機(jī)通電產(chǎn)生的脈沖音3、輕按開(kāi)始按鍵,推力桿編號(hào):3會(huì)向右移動(dòng),然后會(huì)折返停留...
4-25
臺(tái)式勻膠機(jī)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽(yáng)板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。臺(tái)式勻膠機(jī)的設(shè)備特點(diǎn):1、該設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),使用進(jìn)口配件使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.電機(jī)采用新型直流永磁電機(jī)抗電磁干擾。2、定子和轉(zhuǎn)子分開(kāi)供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開(kāi)關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性。3、本勻膠...
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